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本机适用于硅片、石英晶片、宝石片、光学水晶、光学玻璃、铌酸锂、陶瓷片、玻璃及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。
机器采用四电机驱动,下盘、上盘、内齿圈和太阳轮分别由电机单独驱动。 机器整体结构紧凑,运行平稳,有效地缩短各传动轴的长度,增加机器的机械刚度。 内齿圈、太阳轮同步升降并采用点动操作方式。 上盘装置增加机械的安全装置,在摆片、维修等状态下不会因突然故障而下降,增加了安全性。 通过改变内齿圈、太阳轮的速度,调整实现游星轮的正、反转。
上(下)盘尺寸:
φ1133×φ385×50(mm)
工件厚度:
最大:35(mm) 最小:0.4(mm)
工件直径:
最大:φ370(mm)
下盘转速:
0~50(rpm)
游星轮数量:
5
游星轮参数:
z=142 mn=3
上盘压力范围:
20~500(kg)
电源/耗电量:
3相-380v/18kva
气源/耗气量:
0.5(mpa)/30(l/min)
主机尺寸:
2100×1500×2780(mm)
机器重量:
~5500(kg)
2-4英寸蓝宝石 直径为220dvd母片玻璃 单晶硅
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